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Temperaturstabil beheizte Entnahmestellen und Leitungen sorgen für eine zuverlässige Versorgung bei Gasen wie z. B. Distickstoffoxid, Ammoniak oder Kohlendioxid. Moderne Fertigungsverfahren erfordern immer komplexer werdende Prozessgasgemische. Gase wie z.B. BCL3, SiH2Cl2, C4F8 und verschiedene andere neigen schnell zur Tropfenkondensation innerhalb der Versorgungsleitung, wenn Leitungsabschnitte durch kühlere Bereiche trassiert werden. Am Ende kann die Gasversorgung aufgrund von Kondensattropfen versagen. Sensible Spezialgase erfordern deshalb zunehmend ein gut entwickeltes und sorgfältiges Temperaturmanagement, das derartige Kondensationsprobleme unterbindet. Temperaturstabil beheizte Entnahmestellen und Leitungen sorgen für eine zuverlässige Versorgung bei Gasen wie z. B. Distickstoffoxid, Ammoniak oder Kohlendioxid.